半导体套刻计量系统
控制机器的偏光片旋转轴，该系统用于测试过程，以支持微型 IC 器件的开发和生产。
编码器要求
- 与尺寸相比，极高的精度和分辨率
- 快速简便的集成
- 超薄
- 空心轴
- 适用于各种温度
- 洁净室和/或真空环境
- 在电噪声环境中表演
旋转编码器
- Netzer DS-25 绝对旋转编码器与附近的无框架电机和伺服驱动器集成在负载上。
- 紧凑、低调、轻便且孔径宽：允许高级别和简单的集成，以实现低调设计。
- 无框架且无接触，且转子重量可忽略不计：无需操作机械部件即可确保长时间运行，并且不会对系统造成额外的重量和惯性（负载）。
- 不受磁干扰： 可以非常接近无框架电机磁铁。
- 高分辨率17-19位&精度<0.010度，可实现平滑且高精度的旋转，重复性高达1计数。
- 标准数字串行接口，SSi，BiSS。
- 通过 SSI 或 BiSS 进行实时 BIT（内置测试）的特殊安全算法。